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자료유형
학술대회자료
저자정보
박명구 (인하대학교) 이종무 (인하대학교) 안태항 (한양대학교) 전형탁 (한양대학교)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1996년도 재료학회 추계학술발표회
발행연도
1996.1
수록면
155 - 157 (3page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1996

리모트 수소 플라즈마를 이용한 Si 표면의 금속오명 제거
박명구 ,  안태항 ,  이종무 외 2명 한국재료학회지 1996.01 학술저널
리모트 수소 플라즈마를 이용한 실리콘 표면의 금속오염 제거 및 제거기구
박명구 ,  이종무 ,  안태항 외 1명 한국재료학회 학술발표대회 1996.01 학술대회자료

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