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금속 표면 제염을 위한 코발트의 플라즈마 반응 기구 연구
한국방사성폐기물학회 학술대회
2007 .01
방사성 오염 금속 표면에 형성된 코발트 산화막의 플라즈마 제염 반응 연구
한국방사성폐기물학회 학술대회
2008 .01
금속방사성폐기물 제염공정 개발을 위한 NF 플라즈마의 코발트 산화막 식각 반응
한국방사성폐기물학회 학술대회
2012 .01
반응성 플라즈마를 이용한 금속 코발트 제염과 바이어스전압의 영향 연구
한국방사성폐기물학회 학술대회
2005 .01
NF 플라즈마를 이용한 인코넬 모재 위 코발트 산화막의 식각반응 연구
한국방사성폐기물학회 학술대회
2011 .01
금속 표면 제염을 위한 코발트의 플라즈마 식각 반응 연구
방사성폐기물학회지
2008 .01
저온 플라즈마를 이용한 금속 코발트와 몰리브덴 표면 제염 연구
한국방사성폐기물학회 학술대회
2004 .01
반응성 이온 식각 장비에서 산소 플라즈마를 이용한 백금의 식각에 관한 연구 ( A Study on Pt Etch by Oxygen Plasma in Reactive Ion Etcher )
대한전자공학회 학술대회
1995 .11
반응성 이온 식각 장비에서 산소 플라즈마를 이용한 백금의 식각에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1995 .12
고밀도 플라즈마를 이용한 contact hole 식각에서 공정 변수에 따른 식각 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
코발트계 촉매의 반응조건에 따른 활성 연구
한국가스학회 학술대회논문집
2012 .05
戰略金屬 스크랩 資源化를 위한 코발트 物質흐름 現況調査
자원리싸이클링
2005 .01
NLD Plasma 식각 공정을 이용한 $LiNbO_3$ 광 도파로의 식각 Profile의 특성
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
Cl₂/BCl₃/Ar 플라즈마에 의해 식각된 ZnO 박막 표면의 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
반응표면법에 의한 최적설계
전기의세계
2005 .09
CH₄/Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
고밀도 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
플라즈마를 이용한 GaAs 반응성 이온 식각
한국재료학회 학술발표대회
2009 .01
플라즈마를 이용한 방사성 오염 금속 표면 제염을 위한 Co, Mo 표면 식각 반응 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
BCl₃/C₄F₈ 가스 조합을 이용한 ZrOx 박막의 선택적 플라즈마 식각에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
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