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학술저널
저자정보
전상환 (한양대학교) 김용수 (한양대학교)
저널정보
한국방사성폐기물학회 방사성폐기물학회지 방사성폐기물학회지 제6권 제1호
발행연도
2008.1
수록면
17 - 23 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (8)

2008

금속 표면 제염을 위한 코발트의 플라즈마 식각 반응 연구
전상환 ,  김용수 방사성폐기물학회지 2008.01 학술저널

2007

금속 표면 제염을 위한 코발트의 플라즈마 반응 기구 연구
전상환 ,  박동민 ,  김용수 외 4명 한국방사성폐기물학회 학술대회 2007.01 학술대회자료
반응성 플라즈마를 이용한 금속코발트의 표면 식각 반응 연구
전상환 ,  박동민 ,  진동식 외 4명 한국방사성폐기물학회 학술대회 2007.01 학술대회자료

2006

저준위 방사성 표면 오염 금속의 플라즈마 제염 연구
전상환 ,  김용수 ,  진동식 외 3명 한국방사성폐기물학회 학술대회 2006.01 학술대회자료

2005

SF₆/O₂ 플라즈마를 이용한 금속 표면 방사성 오염물질의 제염 연구
전상환 ,  이승훈 ,  고성남 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2005.11 학술대회자료
플라즈마를 이용한 방사성 오염 금속 표면 제염을 위한 Co, Mo 표면 식각 반응 연구
전상환 ,  이승훈 ,  고성남 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2005.05 학술대회자료
반응성 플라즈마를 이용한 금속 코발트 제염과 바이어스전압의 영향 연구
전상환 ,  이승훈 ,  고성남 외 1명 한국방사성폐기물학회 학술대회 2005.01 학술대회자료
저온 플라즈마를 이용한 방사성 오염 금속 표면 제염 연구
전상환 ,  이승훈 ,  고성남 외 1명 한국방사성폐기물학회 학술대회 2005.01 학술대회자료

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이 연구에서는 플라즈마 제염 기술의 실용화를 위해 $CF_4/O_2$, $SF_6/O_2$, $NF_3$ 등의 반응성 플라즈마 기체를 이용하여 원자력 시설의 주요 오염원인 코발트 핵종에 대한 표면 제염 모의실험을 수행하였다. 디스크 형태의 금속코발트에 대하여 시편 표면 온도를 변수로 플라즈마 식각 실험을 수행한 결과 반응율은 $420^{\circ}C$에서 $NF_3$ 기체의 경우 $17.2\;{\mu}m/min.$ 그리고 $SF_6$와 $CF_6/O_2$ 기체의 경우 각각 $2.56\;{\mu}m/min.$과 $1.14\;{\mu}m/min.$이었으며, 이들 반응의 활성화에너지는 각각 39.4 kJ/mol, 42.1 kJ/mol, 116.0 kJ/mol이었다. 이와 함께 AES (Auger Electron Spectroscopy)를 이용하여 반응 생성물 성분 분석 결과 이들 반응의 주요 반응 기구는 코발트의 불화 반응임이 밝혀졌다. 이 연구를 통해 확보된 $17\;{\mu}m/min.$의 금속 표면 식각율은 주요 반도체 공정의 식각율을 뛰어넘는 높은 식각율로 플라즈마 제 염 기술의 실용화를 앞당길 수 있는 고무적인 결과라 할 수 있을 것이다.
#금속표면제염 #코발트 #반응성 플라즈마 식각 #오제전자분광법

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