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Proximity-Scan ALD (PS-ALD) 에 의한 AlO와 HfO 박막증착 기술 및 박막의 전기적 특성
한국재료학회지
2008 .01
$Hf[N(CH_3)_2]_4$ precursor를 이용한 $HfO_2$ 박막의 성장 기구와 전기적 성질에 관한 고찰
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
ALD 방법으로 Si(100) 기판에 증착한 $HfO_2$ 게이트 유전박막의 특성
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
ALD법으로 성장한 HfO 박막의 열처리에 따른 특성변화
한국재료학회지
2007 .01
Non-saturated Atomic Layer Deposition for Composition Adjustment in $Al_2O_3-HfO_2$ Thin Films
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
비휘발성 메모리 응용을 위한 ALD법을 이용한 HfO₂ 절연막의 특성
전기학회논문지
2010 .08
Gate 산화막으로 $HfO_2$ 박막을 이용하여 제작한 NFET 특성 고찰
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2003 .01
ALD방법으로 성장된 HfO₂/Hf/Si 박막의 전기적 특성
대한전자공학회 학술대회
2006 .06
Gate 박막용 $HfO_2$ 박막의 증착과 분석
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
HfO₂ 박막 특성에 대한 주성분 분석을 이용한 신경망 모델링
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .10
Effects of Working Pressure on Structural and Optical Properties of HfO2 Thin Films
한국전자통신학회 논문지
2017 .01
원자층증착 기술: 개요 및 응용분야
한국재료학회지
2013 .01
산소 기체를 이용한 ALD법으로 층착한 ZnO박막의 증착 온도가 전기적 특성에 미치는 영향
대한전자공학회 학술대회
2007 .11
$La_2O_3/HfO_2$ 나노 층상구조를 이용한 MIM capacitor의 특성 향상
한국재료학회 학술발표대회
2012 .01
ALD 공정을 이용한 폴리카보네이트 기판의 Zinc Oxide 박막증착 특성분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .05
New HFO-Based Option(HFO기반의 다양한 냉매 옵션)
설비저널
2011 .04
ALD 방법으로 증착된 HfO₂/Hf 박막을 게이트 절연막으로 사용한 MOS 커패시터 제조
전자공학회논문지-SD
2007 .05
저전력 휴대용 통신단말을 위한 이온빔 처리된 HfO2 박막의특성 연구
한국위성정보통신학회논문지
2015 .01
Tunable RF 기기 적용을 위한 ALD-HfO₂의 마이크로파 대역 강유전체 특성 고찰
전기전자학회논문지
2018 .09
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