반도체 기술

유영욱

정보화사회

1989 .01

반도체 기술

이진효

전자공학회지

1987 .04

반도체제조의 생산성 제고를 위한 반도체 공정 주변기술

이용일 ,  배남진

[ETRI] 전자통신동향분석

1988 .03

단결정 실리콘의 이방성 습식식각

조남인 ,  김민철 ,  강찬민

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

반도체 제조공정에서의 환경제어 기술

김용진

대한기계학회지

1993 .02

반도체에 관하여

염곡훈

전자공학회지

1965 .07

반도체 소자 제조 기술 동향

성홍석

전자공학회지

2015 .01

반도체용 초순수 제조 기술 현황

이용병

한국막학회 총회 및 학술발표회

2000 .01

PLS와 SVM복합 알고리즘을 이용한 식각 종료점 검출

이윤근 ,  한승수 ,  한이슬 외 1명

전기전자재료학회논문지

2011 .01

반도체 제조공정의 자동화 기술 동향

이치열 ,  최낙만

전자공학회지

1987 .08

반도체 제조공정 배가스 처리기술

김용진 ,  황정호

공기청정기술

2001 .01

3차원 반도체 집적 기술

한태희 ,  정기석

전자공학회지

2009 .09

반도체 식각 공정모니터링 시스템 개발

박정우 ,  이효익 ,  이홍렬 외 3명

한국통신학회 학술대회논문집

2012 .11

반도체 기술 동향

편광의 ,  박형무

전자공학회지

1991 .12

고밀도 플라즈마를 이용한 contact hole 식각에서 공정 변수에 따른 식각 특성

김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

반도체 제조공정에서 오염분석 기술과 응용

박현열

공기청정기술

2006 .01

반도체 설계기술의 현황과 전망

김충기

전자진흥

1983 .01

반도체소자 제조기술의 변화

권호택

전자진흥

1983 .01

MEMS기반 에너지 하베스터 제작을 위한 실리콘 KOH 식각 모형화

민철홍 ,  김태선 ,  강경우

전기전자재료학회논문지

2012 .01

차세대 반도체 기술 개발 : 반도체 세계 2강을 향하여

조중휘

전자공학회지

2006 .05