건식 식각기술의 동향분석

박성호 ,  김진섭 ,  강봉구

[ETRI] 전자통신동향분석

1989 .06

고밀도 플라즈마를 이용한 contact hole 식각에서 공정 변수에 따른 식각 특성

김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

단결정 실리콘의 이방성 습식식각

조남인 ,  김민철 ,  강찬민

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구

함동은 ,  신수범 ,  안진호

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

식각액에 따른 용융실리카의 레이저 습식 식각가공

이종호 ,  이종길 ,  전병희

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2004 .05

반도체 제조용 식각기술

한국발명진흥회

발명특허

2005 .01

플라즈마를 이용한 GaAs 반응성 이온 식각

이성현 ,  노호섭 ,  최경훈 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

MEMS기반 에너지 하베스터 제작을 위한 실리콘 KOH 식각 모형화

민철홍 ,  김태선 ,  강경우

전기전자재료학회논문지

2012 .01

NLD Plasma 식각 공정을 이용한 $LiNbO_3$ 광 도파로의 식각 Profile의 특성

박우정 ,  양우석 ,  이승태 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

식각액에 따른 용융실리카의 레이저 습식 식각 특성 비교 연구

이종호 ,  이종길 ,  전병희

소성·가공

2004 .04

고밀도 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성 분석

강찬민 ,  김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

디스플레이 공정용 건식 식각 장비의 시뮬레이션 기술

최희환

인포메이션 디스플레이

2015 .01

광도파로 제작을 위한 실리카 식각 공정의 신경망 모델

朴尙鎬 ,  權光虎 ,  金秉桓 외 2명

전기학회논문지

1998 .04

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

스테인리스표면위에 균열이 없는 실리카 보호막 형성을 위한 다른 크기의 실리카 나노입자 첨가

황태진 ,  이흥렬 ,  김호형 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .05

하이브리드 모델을 이용한 플라즈마 식각 공정에서의 식각종료점 검출

김승균 ,  홍상진 ,  한승수

대한전자공학회 학술대회

2011 .06

시멘트 특성을 개선시키는 실리카퓸

한국양회공업협회

시멘트

1988 .01

초고집적 소자 제조를 위한 건식 식각 기술 동향

권광호 ,  김보우

전자공학회지

1991 .09

산업용 잉크젯을 이용한 전자소자 제작

강희석 ,  강경태 ,  황준영 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2012 .01