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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
최명률 (청주대학교 전자공학과) 이태일 (청주대학교 전자공학과) 박인철 (청주대학교 전자공학과) 김홍배 (청주대학교 정보통신공학부)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2002년도 추계학술대회 발표 논문집
발행연도
2002.1
수록면
10 - 13 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2005

Silicon 기판위에 제작된 BST 박막의 특성
최명률 ,  김홍배 한국진공학회 학술발표회초록집 2005.08 학술대회자료

2002

Si기판위에 증착된 MgO완충층의 두께에 따른BST 박막의 특성
최명률 ,  이태일 ,  박인철 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2002.02 학술대회자료
Si기판상의 BST박막 제조를 위한 MgO 완충층의 제조 및 특성
최명률 ,  이태일 ,  박인철 외 1명 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2002.01 학술대회자료

초록· 키워드

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본 논문에서는 P-type (100)Si 기판위에 RF magnetron sputtering법으로 강유전체 BST 박막을 증착하기 위한 완충층용(buffer layer) MgO 박막을 제작하였다. 증착 시 기판온도는 $400^{\circ}C$, 작업가스 Ar:$O_2$:=80:20, 작업진공 10m torr에서 RF 파워를 25W, 50W, 7SW로 변화하면서 증착하여 최적의 RF 파워조건을 확립하였다. XRD 측정결과 RF 파워 세기에 관계없이 MgO(200)피크만 관찰되었고 RF 파워 5OW에서 제작한 박막이 가장 양호한 결정성을 나타내었고 이 때 I-V측정결과 $\pm$ 1.5 MV/$cm^2$에서 $10^{-7}$A/$cm^2$이하의 양호한 누설전류특성을 나타내었고 C-V 측정결과 히스테리시스가 거의없는 양호한 인터페이스 특성을 보여주었고 비유전율은 약 8.4였다.

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