RF Magnetron Reactive Sputtering 법으로 제작한 BST 박막의 전기적 및 계면 특성에 관한 연구 ( Electrical and Interface Characteristics of BST Thin Films Grown by RF Magnetron Reactive Sputtering )

강성준 ,  장동훈 ,  윤영섭

전자공학회논문지-D

1998 .05

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 고온 내구성 InSbO₄ 박막의 물성 평가

이현준 ,  조상현 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF Magnetron Sputtering법에 의해 제작한 마그네슘 박막의 특성연구

배일용 ,  김기준 ,  문경만 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

RF Magnetron Sputtering을 이용한 $TiO_2$ 박막의 결정성과 광학적 특성

강계원 ,  이영훈 ,  곽재찬 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

RF Power에 따른 BST박막의 특성

최명률 ,  권학용 ,  박인철 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

RF Magnetron Sputtering법으로 제조한 AlN박막의 우선배향성

진덕용 ,  최대규 ,  이창엽

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

The Characteristics of Cu₂O Thin Films Deposited Using RF-Magnetron Sputtering Method with Nitrogen-Ambient

Seong Hyun Lee ,  Sun Jin Yun ,  Jung Wook Lim

[ETRI] ETRI Journal

2013 .12

열처리 조건이 Co-Sputtering법으로 제작된 BST 박막 특성에 미치는 영향

주재현 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

Rf Magnetron Sputtering으로 증착된 RuO$_2$ 박막의 미세구조 및 계면 반응 특성 분석

배준철 ,  박찬경

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

RF 스퍼터링법을 이용한 PZT(52/48)/BST(60/40) 이종층 박막의 유전 특성

권현율 ,  김지헌 ,  최의선 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2004 .07

RF magnetron sputtering으로 증착한 AZO 박막의 타겟-기판 거리의 영향에 의한 특성

정성훈 ,  박빛나 ,  정충경 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .05

RF Magnetron Sputtering법으로 제작한 투명전도성 박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구

전용수 ,  김성수

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

RF Magnetron Sputtering법의 의해 Alloy42 기판상에 증착된 Ag막의 밀착력과 계면에 관한 연구

이철룡 ,  천희곤 ,  조동율 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .11