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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
박명식 (경북대학교 무기재료공학과) 강승국 (경북대학교 무기재료공학과) 노광수 (한국과학기술원 재료공학과) 김동범 ([주]LG전자부품연구소) 조상희 (경북대학교 무기재료공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제7권 제6호
발행연도
1997.1
수록면
522 - 528 (7page)

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RF-magnetron Sputtering Process를 이용하여 Pt/Ti/Si(100)기판위에 lanthanum-modified lead titanate 박막을 제작하였다. 기판온도와 증착시간이 증가함에 따라 증착율은 감소하였다. 기판온도가 증가함에 따라 fine grain들은 large grain으로 변화하였다. Perovskite구조는 기판온도 54$0^{\circ}C$, gas pressure 30mtorr에서 나타나기 시작하였다. 본 실험에서 perovskite 박막제작에 대한 조건은 기판온도 58$0^{\circ}C$, gas pressure 30mtorr였다. Pt/Ti/Si(100) 우선 배향된 박막을 얻었다. La양이 증가함에 따라 유전율, 항전계, 잔류분극량은 증가하였다. 중심주파수가 44.7MHz, 전파속도는 2680m/sec를 가지는 SAW filter 특성을 얻었다.

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