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학술저널
저자정보
이용의 (서울대 무기재료공학과) 김형준 (서울대 무기재료공학과) 양형국 (전자부품종합기술연구소) 박종철 (전자부품종합기술연구소) 김유택 (경기대학교 재료공학과) 김영진 (경기대학교 재료공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제6권 제3호
발행연도
1996.1
수록면
341 - 346 (6page)

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R-sapphire 기판위에 rf magnetron 스퍼터 방법으로 ZnO 박막을 증착하여 박막의 증착변수에 따른 결정성장방향과 SAW 특성을 분석하였다. 증착온도, 압력, rf 전력에 의해 박막 성장면이 (002)에서 (110)으로의 전이가 관찰되었다. 5mTorr, 40$0^{\circ}C$, 250W의 rf 전력에서 가장 우수한 (110)방향의 에피 ZnO 압전 박막의 SAW 특성을 분석하기 위하여 제작된 마스크를 사용하여 IDT를 구성한 후 SAW 특성을 분석한 결과 h/λ=0.08의 조건에서 전단속도가 약 5232m/s로서 고주파용 SAW 필터의 제조에 적합한 특성을 보이고 있다.

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