다양한 전구체의 펄스 시간에 따른 원자층 박막 증착을 통한 박막 특성 비교

정헌준 ,  최윤성 ,  심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작

최윤성 ,  심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발

김민식 ,  한권덕 ,  최형종 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

Synthesis of MoSe2/SrTiO3 Heterostructures with Enhanced Ultraviolet-Light-Driven and Visible-Light-Driven Photocatalytic Properties

Xingwang Zhou ,  Jun Yao ,  Ming Yang 외 6명

NANO

2018 .01

Advanced atomic layer deposition of ultrathin metal films

한지원 ,  박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인

홍민표 ,  김경민 ,  송용남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

Effect of Deposition Temperature on Mechanical Properties of Freestanding ALD Al₂O₃ Thin Films

S. Lee ,  J. Koo ,  J. Kim 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

Surface Chemistry Modification for Developing Atomic Layer Deposition Process for the 2D Material and Thin Film Deposition on 2D Materials

전우진

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

Multi-functional layer coating on nanoparticles via atomic-layer-deposition

홍성환 ,  장은용 ,  박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

기능성 박막 코팅용 소형 원자층 증착 장비

정헌준 ,  박종선 ,  임진혁 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

The Relation of Refractive Index of Atomic Layer Deposited (ALD) TiO₂ with Growth Temperature

Young Joon Cho ,  Hyo Sik Chang

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2019 .04

The Properties of ZrO₂ Film Deposition by ALD at Low Temperature

양병찬 ,  신정우 ,  권혁동 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .10

Advanced Atomic Layer Deposition: Metal Oxide Thin Film Growth Using Electric Potential

Jae Chan Pa ,  k ,  Chang Ik Choi 외 9명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2024 .10

High-k Thin Films by Atomic Layer Deposition for Energy and Information Storage

안지환

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2018 .12

Electrical and Optical Properties of Ti-ZnO Films Grown on Glass Substrate by Atomic Layer Deposition

이우재 ,  김태현 ,  권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

Synthesis of SrTiO3 Fibers and Their Effects on the Thermoelectric Properties of La0.1Dy0.1Sr0.75TiO3 Ceramics

Jiao Han ,  YiMing Zeng ,  Ying Song 외 1명

Electronic Materials Letters

2019 .01

BaNb₂O₆:Eu³⁺ 박막의 특성에 증착 온도가 미치는 효과

강현식 ,  박성민 ,  조신호

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .06

유량 변화에 따른 원자층 증착 장비 내부 유동특성 연구

최원준 ,  홍경표 ,  최예린 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

Characterization of Cu₂ZnSn(S_xSe_1-x)₄ Thin Film Solar Cell by Annealing Temperature

In Jae Lee ,  Jin Hyeok Kim

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2018 .04

Low-resistivity Molybdenum Nitride Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition

하민지 ,  최정훈 ,  안지훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .11