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플라즈마 원자층 증착을 이용한 TiO₂ thin film 굴절율 최적화
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
N₂ 분위기와 forming gas 분위기의 열처리가 원자층증착법으로 성장한 TiO₂ 박막의 특성변화에 미치는 효과
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2018 .11
저온에서 원자층 증착법으로 제작된 Al₂O₃, TiO₂ 박막의 특성 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
ALD로 저온에서 증착된 TiO2 박막의 막질에 대한 연구
마이크로전자 및 패키징학회지
2016 .01
The Bandgap Change of TiO₂ as the Thickness and Annealing Condition Change
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2020 .10
원자층 증착장치에 의한 TiO2 박막 코팅된 폴리머 절연체의 표면 및 전기적 특성의 향상
전기전자재료학회논문지
2016 .01
R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
플라즈마 원자층 증착법을 이용한 결정질 TiO₂ 박막의 저온 증착 및 MIM 캐퍼시터 성능 분석
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .12
소형 원자층 증착 장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
원자층 증착법을 이용해 제작한 TiO₂/ZnO 이종접합 박막의 광분해 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .11
Evaluation of Sn doping and SnO₂ seed layer introduction to grow Rutile-TiO₂ using Atomic Layer Deposition
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .11
플라즈마 원자층 어닐링을 이용한 TiO₂의 상 변화
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
열처리 조건에 따른 TiO₂ 박막의 패시베이션 특성 변화
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2019 .10
The Properties of ZrO2 Film Deposition by ALD at Low Temperature
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .10
유량 변화에 따른 원자층 증착 장비 내부 유동특성 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
Multi-functional layer coating on nanoparticles via atomic-layer-deposition
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
Formation of Anti-reflection structure grown by atomic layer deposition
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2017 .05
Thermal Cycling Test for Eco-friendly PTC Thermistor in Ba0.97(Bi0.5Na0.5)0.03TiO₃ System
한국신뢰성학회 학술대회논문집
2015 .05
원자층 증착법에 의한 TiO₂, Al₂O₃, 및 TiO₂-Al₂O₃ 나노라미네이트 박막이 316L Stainless Steel의 부식특성에 미치는 영향
한국표면공학회지
2017 .02
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