박사학위 논문초록

고현철

전자공학회지

2018 .03

박사학위 논문초록

조재익

전자공학회지

2015 .05

박사학위 논문초록

이근

전자공학회지

2018 .02

박사학위 논문초록

오현우

전자공학회지

2018 .08

박사학위 논문초록

황인성

전자공학회지

2015 .06

박사학위 논문초록

노동현

전자공학회지

2019 .04

박사학위 논문초록

안영재

전자공학회지

2019 .03

박사학위 논문초록

김동익

전자공학회지

2017 .08

박사학위 논문초록

김창순

전자공학회지

2018 .01

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

고밀도 플라즈마를 이용하여 식각된 MoS₂ 박막의 선택비개선 연구

우종창 ,  신승헌 ,  이정원 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2024 .06

원격 플라즈마에서 NF₃ 가스를 이용한 SiGe의 고선택적 등방성 건식 식각

박우창 ,  길홍성 ,  이지연 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2024 .10

플라즈마 주요 인자를 활용한 가상 계측 기반의 플라즈마 식각 공정 제어를 위한 시스템 식별

구준모 ,  박담대 ,  하대근 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2016 .03

Generation and Applications of Radicals and Ions with Plasmas in Etching Processes of Semiconductor Device Fabrication

Heeyeop Chae ,  Yongjae Kim

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

건식 플라즈마 디스미어 공정 개발

송신애 ,  김기영 ,  임성남 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2022 .04

건식 식각 공정 쿼츠의 제작방식에 따른 부품 식각에 관한 연구

임동민 ,  유준현 ,  이종화

대한전자공학회 학술대회

2021 .11

플라즈마 식각 공정에서 의사결정 알고리즘을 이용한 실시간 식각 종료점 검출

노호택 ,  박영국 ,  한승수

전기전자학회논문지

2016 .03

포커스 링 재질과 구조 차이에 따른 식각률 분석을 통한 건식 식각 장비 사용 주기 연장 연구

김성유 ,  최현선 ,  양민호

대한전자공학회 학술대회

2021 .11

펄스 플라즈마를 이용한 식각

양경채 ,  김수강 ,  신예지 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

반도체 식각 장비 개발의 경쟁력

김남헌

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05