Effect of Nitrogen Flow Ratio on Composition, Microstructure, and Mechanical Properties of Cr-B-O-N Films Deposited by Pulsed Direct Current Magnetron Sputtering

김영광; 딩지청; 김광호

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김영광 (부산대학교) 딩지청 (부산대학교) 김광호 (부산대학교)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2019년도 한국표면공학회 추계학술대회 및 특별강습회

발행연도: 2019.11

수록면: 84 - 84 (1page)

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