단일 합금 타겟을 사용하여 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 Al-Cr-Fe-Ti-N 코팅의 특성 연구

박현준; 안기원; 김수빈; 김상섭; 문경일

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박현준 (한국생산기술연구원) 안기원 (한국생산기술연구원) 김수빈 (한양대학교) 김상섭 (인하대학교) 문경일 (한국생산기술연구원)

저널정보: 한국소성·가공학회 한국소성가공학회 학술대회 논문집 2021년도 한국소성가공학회 추계학술대회 초록집

발행연도: 2021.11

수록면: 60 - 60 (1page)

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#Al-Cr-Fe-Ti #Magnetron sputtering #Cutting tools

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