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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
노승국 (한국기계연구원) 경진호 (한국기계연구원) 박종권 (한국기계연구원) 남우호 (제일진공) 고득용 (한국기계연구원)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제19권 제4호
발행연도
2010.7
수록면
256 - 264 (9page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2011

고진공 터보복합분자 펌프 자기베어링 제어 기술
노승국 ,  경진호 ,  오형록 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2011.08 학술대회자료

2010

고진공 터보복합분자 펌프 자기베어링 기술
노승국 ,  신우철 ,  경진호 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.08 학술대회자료
고진공 터보 분자펌프용 자기베어링 시스템의 디지털 선형 제어시스템
노승국 ,  경진호 ,  박종권 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 2010.07 학술저널

2004

고진공 터보 분자펌프용 자기베어링 시스템의 디지털 제어기 설계
노승국 ,  경진호 ,  박종권 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.05 학술대회자료

2002

Inductive Sensor를 이용한 고진공 분자펌프용 자기부상계의 제어
노승국 ,  박병철 ,  정민경 외 4명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2002.10 학술대회자료

초록· 키워드

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본 논문에서는 고진공용 터보분자펌프의 비접촉 고속회전을 위한 자기베어링 시스템의 디지털 제어시스템의 설계에 대하여 소개하였으며, 실례로 800 l/s급의 고진공 펌프에 대하여 축 유연모드의 후방향 위험속도를 넘는 최대 40,000 rpm까지의 회전 실험 결과를 나타내었다. 제안된 제어시스템은 기본적으로 PID 기반의 직접궤환 제어기와 자이로스코픽 모멘트 효과를 제어하기 위한 교차궤환기, 유연모우드 감쇄를 위한 리드필터와 동기진동 저감을 위한 노치필터 등으로 구성되어 있으며, 이러한 제어기는 자기부상형 터보분자펌프 외에 고속 플라이휠과 같은 자기베어링에 적용될 수 있다.
#터보분자펌프 #자기베어링 시스템 #디지털 제어 #교차궤환 제어 #유연축 제어 #Turbomolecular pump #Magnetic bearing system #Digital control #Cross feedback #Flexible mode control

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 디지털 제어시스템 설계
Ⅲ. 실험 결과
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - 신진현 / 2009 / 첨단공정용 드라이펌프 유량 측정 한계 향상기술 개발 / 한국진공학회지 18 (6) : 411 ~ 417 dbpia 2. [학술지(정기간행물)] - 주장헌 / 2008 / 반도체 산업에 있어서의 진공 펌프 소비 전력 절감 방안 / 한국진공학회지 17 (4) : 278 ~ 291 dbpia 3. [학술대회논문] - 노승국 / 2002 / / 한국정밀공학회 추계학술대회 논문집 : 361 ~ 365 google schola 4. [학술대회논문] - I. Satoh / 1988 / / Proc. of 1st Int. Symp. Mag. Brg. : 169 ~ 176 google schola 5. [학술대회논문] - Y. Kanemitsu / 1988 / / 1Proc. of 1st Int. Symp. Mag. Brg. : 367 ~ 380 google schola

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