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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2002년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2002.10
수록면
361 - 365 (5page)

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2011

고진공 터보복합분자 펌프 자기베어링 제어 기술
노승국 ,  경진호 ,  오형록 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2011.08 학술대회자료

2010

고진공 터보복합분자 펌프 자기베어링 기술
노승국 ,  신우철 ,  경진호 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.08 학술대회자료
고진공 터보 분자펌프용 자기베어링 시스템의 디지털 선형 제어시스템
노승국 ,  경진호 ,  박종권 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 2010.07 학술저널

2004

고진공 터보 분자펌프용 자기베어링 시스템의 디지털 제어기 설계
노승국 ,  경진호 ,  박종권 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.05 학술대회자료

2002

Inductive Sensor를 이용한 고진공 분자펌프용 자기부상계의 제어
노승국 ,  박병철 ,  정민경 외 4명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2002.10 학술대회자료

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목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 자기베어링용 인덕티브 센서
3. TMP용 자기부상 시스템
4. 제어실험 결과
5. 결론
후기
참고문헌

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