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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제16권 제6호
발행연도
2007.11
수록면
405 - 413 (9page)

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진공시스템 최적화 설계를 위한 시스템 성능에 대한 설계인자 영향이 전산모사로 연구되었다. 본 연구로 상업화 전산모사기인 VacSim<SUP>Multi</SUP> 에 의한 진공시스템 모델링기구가 제시되었으며 진공시스템의 진공생성기구인 펌핑계 설계인자의 영향을 평가하여 향후 여러 설계인자들의 전산모사 연구 가능성이 확인되었다. VacSim<SUP>Multi</SUP>의 저진공펌프 모델 전산모사 결과와 펌프사양에 의한 배기거동이 오차범위로 일치하였으며 부스터펌프의 사용이 중진공영역 응용에 효과적인 것으로 확인되었다. 또한 자체 배기능력이 없는 유확산펌프와 터보분자펌프 배기계의 최적화 보조펌프 조합이 제시되었으며, 유확산 및 터보분자펌프 배기계의 시스템 공정응용 특성도 확인되었다.
#진공시스템 #전산모사 #설계인자 #최적화설계 #vacuum system #simulation #design factor #optimum design

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 저진공ㆍ중진공시스템 모델링
Ⅲ. 고진공시스템 모델링
Ⅳ. 결론
사사
참고문헌

참고문헌 (3)

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1. [학술지(정기간행물)] - 김홍배 역 / 2004 / 진공의 기초 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - 주장헌 / 2001 / 진공기술 실무 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - / 1999 / User′s Guide of VacSim Multi google schola

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