Indium Interruption Growth법으로 성장한 InAs 양자점의 광학적 특성

이희종; 류미이; 김진수

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이희종 류미이 (강원대학교) 김진수

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제18권 제6호

발행연도: 2009.11

수록면: 474 - 480 (7page)

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분자선 에피택시 (molecular beam epitaxy: MBE)를 이용하여 GaAs (100) 기판에 Indium interruption growth법으로 성장한 InAs 양자점 (quantum dots: QDs)의 광학적 특성을 photoluminescence (PL)와 time-resolved PL (TRPL) 실험을 이용하여 분석하였다. In interruption growth법은 InAs 양자점 성장 동안 As 공급은 계속 유지하면서 셔터 (shutter)를 이용해서 In 공급을 조절하는 방법이다. 본 연구에서는 In을 1초 동안 공급하고 셔터를 0초 , 9초, 19초, 29초, 또는 39초 동안 닫아 In 공급을 차단하였으며, 공급과 차단 과정을 각 30회 반복하여 양자점을 성장하였다. In interruption 시간을 0초에서 19초까지 증가하였을 때 PL 피크는 1096 ㎚에서 1198 ㎚로 적색편이 (~100 ㎚)하고 PL 세기는 증가하였으나, 19초에서 39초까지 증가하였을 때 PL 스펙트럼의 변화는 없고 PL 세기는 감소하였다. 모든 양자점의 PL 소멸시간 (decay time)은 약 1 ㎱로 바닥상태 (ground state) PL 피크에서 가장 길게 나타났다. In interruption 시간이 19초인 시료가 가장 좋은 PL 특성과 가장 짧은 운반자 소멸시간을 나타내었다. PL 특성의 향상은 In interruption 시간동안 일정한 양의 In 원자들의 분리와 이동이 증가한 것으로 설명될 수 있다. 이러한 결과로부터 In interruption 법을 이용하여 InAs 양자점의 크기, 균일도, 조밀도 등을 조절하여 원하는 파장대의 양자점을 성장할 수 있음을 알 수 있다.

#Photoluminescence #Time-resolved photoluminescence #분자선 에피택시 #양자점 #InAs #Quantum dots #Molecular beam epitaxy

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1. [학술지(정기간행물)] - Y. Arakawa / 1982 / / Appl. Phys. Lett 40 : 939 ~

2. [학술지(정기간행물)] - G. Park / 2000 / / IEEE Photon. Technol. Lett 12 : 230 ~

3. [학술지(정기간행물)] - S. G. Li / 2008 / / Appl. Phys. Lett 93 : 111109 ~

4. [학술지(정기간행물)] - C. K. Chia / 2009 / / Appl. Phys. Lett 94

5. [학술지(정기간행물)] - R. Oshima / 2008 / / Appl. Phys. Lett 93

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