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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제17권 제5호
발행연도
2008.9
수록면
400 - 407 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2008

축전 결합형 플라즈마원에 대한 전자기장의 2차원 공간 의존성 계산
김용일 ,  윤남식 Applied Science and Convergence Technology 2008.09 학술저널
축전 결합형 플라즈마원에 대한 전자기장의 2차원 공간 의존성 계산
김용일 ,  윤남식 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.02 학술대회자료

초록· 키워드

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본 연구에서는 축전 결합형 플라즈마원에 대한 전자기장의 2차원 공간 의존성을 계산하였다. 1차원 유체 방정식을 기반으로 축전 전기장과 전도 전류 밀도의 axial 방향 공간 의존성을 계산한 후, radial 방향으로는 맥스웰 방정식의 해를 ωr/c 에 대한 power series로 전개하여 전자기장의 2차원 공간 의존성을 계산하였다.
#축전 결합형 플라즈마원 #유체 방정식 #맥스웰 방정식 #전자기장 #Capacitively coupled plasma source #Fluid equation #Maxwell equation #Electromagnetic field

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (12)

참고문헌 신청
1. [단행본] - M. A. Lieberman / 1994 / Principles of Plasma Discharges and Materials Processing / Wiley google schola 2. [학술지(정기간행물)] - L. Tonks / 1931 / Phys / Rev 37 (1458) google schola 3. [학술지(정기간행물)] - V. P. T. Ku / 1998 / J. Appl / Phys 84 (6536) google schola 4. [학술지(정기간행물)] - V. P. T. Ku / 1998 / J. Appl / Phys 84 (6546) google schola 5. [학술지(정기간행물)] - D. J. Cooperberg / 1998 / Plasma Sources Sci / Technol 7 (96) google schola

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