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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제16권 제4호
발행연도
2007.7
수록면
244 - 249 (6page)

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분동식압력계는 정밀한 압력 측정의 기준 장비로 널리 사용되고 있다. 그것은 분동압력계가 견고하고 정확하며 이동이 간편하고 압력의 정의를 물리적으로 구현할 수 있기 때문이다. 기본적으로 분동식압력계는 분동과 피스톤/실린더 장치로 구성되며 실린더 안에 직경이 꼭 맞는 피스톤이 수직으로 삽입된 구조를 갖고 있다. 측정하려는 압력은 피스톤 아래에 작용하여 윗방향 힘을 발생시키고 피스톤 위에 얹혀 있는 분동에 의해 발생하는 아랫방향 힘과 평형을 이루게 된다. 이때 피스톤 자체의 하중은 항상 작용하므로 분동식압력계는 보통 10 ㎪이상의 압력 범위에서 주로 사용된다. 기존의 방식은 피스톤 아래의 높은 압력을 기준으로 사용하지만 본 방식은 피스톤 주위의 낮은 압력을 기준압력으로 사용하여 보다 더 낮은 압력의 측정이 가능하다. 본 논문에서는 이를 효율적으로 구현한 새로운 장치를 소개하고 실제로 1.33 ㎪, 13.3 ㎪ 두 측정범위를 갖는 정밀한 저진공게이지(MKS, CDG)를 교정, 평가한 결과에 대해서 기술하였다
#저진공게이지 #교정 #분동식압력계 #유효단면적 #분동 #low vacuum gauge #calibration #deadweight piston gauge #effective area #deadweight

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 측정 원리 및 교정 장치
Ⅲ. 실험 및 토의
Ⅳ. 결론
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