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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제2권 제1호
발행연도
1993.3
수록면
1 - 8 (8page)

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당 연구실에서 개발 제작된 동적교정방법을 이용한 고진공표준기를 사용하여 10^(-6)~10^(-3) torr 영역에서 가장 널리 쓰이는 spinning rotor gauge와 열음극 전리 진공게이지들의 특성을 상품화되어 사용되는 방법대로 측정하여 조사하여 보았다. 게이지들의 직선성, 단기간(15일)에 행해진 반복측정에서의 scattering을 조사하였고 또한 N₂, CO, He, H₂, O₂, Ar 가스에 대한 감도와 압력을 올릴 때와 내릴 때의 hysteresis를 조사하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험장치

3. 실험 및 논의

4. 결론

감사의 말씀

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