진공표준용기에서 진공계위치에 대한 고찰

인상렬

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자료유형: 학술저널

저자정보: 인상렬

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제4권 제1호

발행연도: 1995.3

수록면: 1 - 5 (5page)

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진공표준용기에서 압력을 측정하는 진공계의 위치는 측정압력으로 부터 계산된 진공펌프의 배기속도가 진실한 값에 얼마나 가까운가를 결정하는 중요한 요소이다. 본 논문에서는 압력을 유효배기확률에 반비례하는 양으로 보아 해석적 방법으로 적절한 진공계위치를 계산하고 있다. 또 진공계가 차지하는 폭과 펌프의 고유배기확률이 압력(또는 배기속도) 측정값의 정확도에 미치는 영향에 대해 논의한다.

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