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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제15권 제6호
발행연도
2006.11
수록면
605 - 611 (7page)

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정적법(constant volume method)을 이용하여 1 ㎩~100 ㎪ 영역에서 진공게이지의 직접교정(direct calibration) 장치를 개발하였다. 이 장치는 피 교정 게이지의 이동 없이 in-situ 상태에서 비교교정(comparison calibration)도 가능하다. 이 장치가 개발됨으로서 산업체 교정기관의 생산성을 높이고 개발도상국에 국가 진공 표준과 교정기술을 보급할 수 있게 되었다.

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험장치 및 방법
Ⅲ. 실험결과 및 토의
Ⅳ. 결론
참고문헌

참고문헌 (1)

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