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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제16권 제2호
발행연도
2007.3
수록면
128 - 133 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2007

Ni 촉매층의 두께가 탄소나노튜브의 성장 형태에 미치는 영향
김정태 ,  박용섭 ,  김형진 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 2007.03 학술저널
Hot-filament 화학기상 증착법으로 성장시킨 탄소나노 튜브의 특성에서 Ni 촉매층 두께가 미치는 영향에 관한 연구
김정태 ,  박용섭 ,  김형진 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.02 학술대회자료

2006

Hot-filament 화학기상 증착법으로 성장시킨 PR패턴을 이용한 탄소나노튜브의 선택적 성장
김정태 ,  최원석 ,  김형진 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2006.08 학술대회자료

초록· 키워드

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본 연구에서는 탄소나노튜브의 성장특성을 결정짓는 여러 요소 중 한가지인 촉매층 두께의 변화에 따라서 형성되어지는 탄소나노튜브의 형태 변화를 관찰하였다. Ni 촉매층은 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착하였으며, Ni 촉매층의 두께는 20～80 ㎚의 범위에서 설정하였다. 두께에 따른 Ni 촉매층 기판을 hot-filament 플라즈마 화학기상 증착(HF-PECVD) 장치를 이용하여 탄소나노튜브를 합성하였으며, 성장되어진 탄소나노튜브의 성분분석은 에너지 분산형 X-선 측정기(EDS)를 통해 분석하였고, 고배율 투과전자현미경(HRTEM) 분석과 전계방사 주사전자현미경(FESEM) 분석을 통해 성장된 탄소나노튜브 성장 형태를 관찰하였다. 그 결과로써, 고배율 투과전자현미경(TEM) 분석을 통해서는 탄소나노튜브는 내부가 비어있으며, 다중벽으로 구성되어 있는 것을 관찰하였고, 탄소나노튜브 상부에 니켈 금속이 포함된 것을 확인하였다. 이것은 분산형 X-선 측정을 통해 탄소나노튜브의 구성성분이 접착층인 Ti, 촉매층인 Ni 그리고 탄소(C)로 이루어졌음을 다시한번 확인하였으며, 성장형태에서도 알 수 있듯이 탄소나노튜브 성장 전에 행해여지는 전처리는 촉매층의 입자를 변화시키고 변화된 촉매층의 표면은 다른 형태의 탄소나노튜브를 성장시킴을 알수 있었다. 결과적으로, 40 ㎚의 촉매층을 지니는 기판에서 가장 좋은 형태를 나타내는 탄소 탄소나노튜브가 성장되었음을 알 수 있다.
#Hot-filament 플라즈마 화학기상 증착법 #탄소나노튜브 #촉매 #투과전자현미경 #Hot-filament plasma enhanced chemical vapor depositon method #carbon nanotube #catalyst #HRTEM

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (14)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Ijima / 1991 / Helical microtubes of graphitic carbon 354 : 56 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - 김용현 / 2000 / 탄소나노튜브의 전자구조 12 (5) : 13 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - 김동호 / 2000 / 탄소나노튜브의 전자적 물성 13 (5) : 29 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Shoushan Fan / 1999 / Self-oriented regular arrays of carbon nanotubes and their field emission properties 283 : 512 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - 박종구 / 2000 / 나노 기술 개발의 최근 동향 13 (2) : 38 ~ google schola

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