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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.11
- 수록면
- 436 - 441 (6page)
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각종 전자 방출원 및 디스플레이 응용 분야에서 뛰어난 가능성을 보이고 있는 탄소나노튜브의 전계 방출 특성을 개선하고 전자방출의 신뢰성을 개선하기 위해 탄소나노튜브의 표면에 수 nm 두께의 금속 코팅을 적용하였다. 탄소나노튜브는 실리콘 기판위에 2 nm 두께의 Invar (52% Fe, 42% Ni, 6% Co alloy) 촉매를 사용하여 450oC의 온도에서 플라즈마 화학기상 증착법으로 성장시켰다. 성장된 탄소나노튜브의 밀도 제어를 위해 성장 후 질소 플라즈마로 일부를 식각한 후 티타늄(Ti) 금속을 탄소나노튜브 표면에 5~150 nm 두께로 스퍼터링 증착하였다. 5 nm로 티타늄을 탄소나노튜브 표면에 코팅한 경우, 코팅 전에 비해 6 V/μm의 전계에서 전류밀도가 4배 이상 증가되었으며, 전계 방출 전류의 요동(fluctuation) 또한 40% 이상 감소됨을 확인할 수 있었다. 이는 티타늄의 일함수가 4.3 eV로 탄소나노튜브의 5 eV에 비해 작을 뿐만 아니라, 탄소나노튜브의 약점으로 지적되는 기판과의 접착성과 접촉저항이 티타늄의 표면 코팅으로 인해 크게 개선된 결과로 판단된다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌
참고문헌 (10)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - S. Iijima / 1991 / / Nature 354 : 56 ~
2. [학술지(정기간행물)] - Q. H. Wang / 1998 / / Appl. Phys. Lett 72 : 2912 ~
3. [학술지(정기간행물)] - 김태민 / 2010 / 수직 가열로를 이용한 고순도 단일벽 탄소나노튜브 섬유의 합성 / 한국진공학회지 19 (5) : 377 ~ 384
4. [학술지(정기간행물)] - 송유진 / 2009 / 산소플라즈마 에칭공정을 응용한 탄소나노튜브 Array 길이 제어 연구 / 한국진공학회지 18 (6) : 488 ~ 493
5. [학술지(정기간행물)] - 강준태 / 2009 / 삼극형 CNT 전자원에 대한 신뢰성 평가 / 한국진공학회지 18 (2) : 79 ~ 84
2. [학술지(정기간행물)] - Q. H. Wang / 1998 / / Appl. Phys. Lett 72 : 2912 ~
3. [학술지(정기간행물)] - 김태민 / 2010 / 수직 가열로를 이용한 고순도 단일벽 탄소나노튜브 섬유의 합성 / 한국진공학회지 19 (5) : 377 ~ 384
4. [학술지(정기간행물)] - 송유진 / 2009 / 산소플라즈마 에칭공정을 응용한 탄소나노튜브 Array 길이 제어 연구 / 한국진공학회지 18 (6) : 488 ~ 493
5. [학술지(정기간행물)] - 강준태 / 2009 / 삼극형 CNT 전자원에 대한 신뢰성 평가 / 한국진공학회지 18 (2) : 79 ~ 84
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