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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제18권 제3호
발행연도
2009.5
수록면
229 - 235 (7page)

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본 연구에서는 철(Fe)을 촉매금속으로 사용하고 마이크로웨이브 플라즈마 화학기상증착법(microwave plasma CVD)을 이용하여 얇은 다중벽 탄소나노튜브를 합성하였다. 촉매금속으로 사용된 철은 직류 마그네트론 스퍼터를 사용하여 증착하였으며, 탄소나노튜브의 합성에는 플라즈마 공급원인 수소(H₂), 탄소 공급원인 메탄(CH₄)과 함께 미량의 산소(O₂) 또는 아르곤(Ar)과 함께 물을 수증기의 형태로 사용하였다. 산소 또는 수증기의 추가에 따른 탄소나노튜브의 성장률의 변화를 주사전자현미경으로 조사하였으며, 결정구조를 투과전자 현미경을 통해 관찰하였다. 또한 라만 분광법을 이용하여 추가 주입 기체의 종류에 따른 탄소나노튜브의 결정성의 변화를 분석하였다. 실험결과, 산소를 추가로 주입하였을 때 성장률이 가장 컸고 결정성도 개선되는 것을 확인하였다. 최종적으로 150 분 동안 합성하여 기판 위에 2.7 ㎜ 이상의 수직 정렬된 얇은 다중벽 탄소나노튜브(thin-multiwalled CNTs)를 합성할 수 있었다.
#탄소나노튜브 #마이크로웨이브 플라즈마 화학기상증착법 #Carbon nanotubes #Microwave plasma chemical vapor deposition

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (23)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - R. Saito / 2001 / Physical Properties of Carbon Nanotubes / Phys. Rev Lett 86 : 1118 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - D. Ferrer / 2006 / / Appl. Phys. Lett 88 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - 이승엽 / 2007 / Ag-Cu합금 코팅된 탄소나노튜브의 전계방출 특성 / 한국진공학회지 16 (4) dbpia 4. [학술지(정기간행물)] - Ali Javey / 2003 / / Nature 424 : 654 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Qing Cao / 2006 / / Adv. Funct. Mater 16 : 2355 ~ google schola

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