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논문 기본 정보

자료유형
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제15권 제4호
발행연도
2006.7
수록면
347 - 353 (7page)

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국제도량형위원회의 질량 및 관련량 자문위원회 (CCM)가 주관하는 헬륨 투과형 표준리크(standard leak) 핵심측정표준 국제비교 (key comparison, KC)에 참여하기 위하여 기존의 정압형 리크표준기에 porous plug를 추가하여 측정범위를 10?? Pa L/s까지 확장한 헬륨 미세리크 표준기를 개발하였다. 이를 위해 헬륨 기체에 대한 고진공 및 초고진공 표준기의 압력비와 porous plug의 콘덕턴스를 새롭게 측정하였으며, 개발된 장치를 이용하여 명목 값이 5.6×10?⁴ Pa L/s인 투과형 표준리크를 직접 교정한 결과 표준기와 차이가 11.1 %임을 알 수 있었다.
#표준리크 #투과형 #정압법 #직접교정 #Porous plug 콘덕턴스 #Standard leak #Permeation type #Constant pressure method #Direct calibration #Porous plug conductance

목차

한국어 초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 장치
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌
영어 초록

참고문헌 (0)

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