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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
홍승수 (한국표준과학연구원) 송한욱 (한국표준과학연구원) 최인묵 (한국표준과학연구원) 박연규 (한국표준과학연구원)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제21권 제6호
발행연도
2012.11
수록면
295 - 300 (6page)

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지름이 각각 10 mm와 20 mm인 피스톤과 진공장치를 이용해서 발생된 유량과 이온게이지의 압력을 측정하여 비교하는 방법으로 개발 중인 오일유량계의 성능을 예비 평가하였다. 큰 피스톤의 유량 발생 범위는 1×10<SUP>-1</SUP> PaㆍL/s～1.2 PaㆍL/s이었고 작은 피스톤의 유량발생 범위는 5.3×10<SUP>-1</SUP> PaㆍL/s～1.05 PaㆍL/s이었으며, 이 구간에서의 반복성과 직선성은 비교적 좋았다. 개발 중인 오일유량계는 국가 리크표준기로서 앞으로 표준리크를 교정하는데 활용할 계획이다
#오일유량계 #진공 #표준리크 #유량Oil flowmeter #Vacuum #Standard leak #Throughput

목차

초록
I. 서론
II. 원리
III. 실험 장치
IV. 결과 및 고찰
V. 결 론
참고문헌
abstract

참고문헌 (10)

참고문헌 신청
1. [단행본] - S. S. Hong / 2010 / Handbook of Vacuum Measurements / Chungmoongak : 151 ~ google schola 2. [기타자료] - C. D. Ehrlich / 1992 / NIST Leak Calibration Service, NIST Special Publication 250-38 : 3 ~ google schola 3. [기타자료] - AVS 2.1 / 1973 / Calibration of Leak Detectors of the Mass Spectrometer Type 568 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - W. Jitschin / 1988 / / Vacuum 38 : 883 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Y. H. Shin / 2004 / / Key Engineering Materials 270 : 1674 ~ google schola

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