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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제14권 제3호
발행연도
2005.9
수록면
103 - 109 (7page)

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정적법을 이용하여 새로운 중진공 국가표준기를 개발하였다. 이 장치의 성능평가를 위해 측정범위가 각각 133 Pa과 1,333 Pa인 두 개의 용량형 진공게이지를 전달표준기로 사용하여 초음파간섭 수은주압력계와 중진공표준을 상호비교하였다. Error normalized (E_n) 값으로 분석한 결과 교정압력 3 Pa~100 Pa에서 두 표준기는 합성불확도 범위 내에서 잘 일치하고 있음을 알 수 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험장치

3. 교정 및 불확도 평가

4. 결과 및 토의

5. 결론

참고문헌

참고문헌 (2)

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