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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제9권 제1호
발행연도
2000.2
수록면
48 - 59 (12page)

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니켈산화물 박막을 전자살증착법으로 제작하고 제작조건 특히 기판온도가 막의 안정성에 미치는 영향을 연구하였다. 제작된 시료의 광학적 특성과 안정성은 강하게 기판온도에 의존하였으며 기판온도 l50~200℃에서 제작된 NiO막은 0.5몰 KOH 용액속에서 -0.6~+0.8 V 사이의 5000사이클 후 에도 안정하였다. 5000사이클 후 가창 우수한 전기적 착색인자는 기판온도 150℃에서 제작된 시료에서 얻어졌으며 착색인자는 착색효율 CE=-0.049 ㎠/mC, 광학적 밀도변화 △OD=0.88, 막에 주입된 전하 Q_(in)=-18.11 mC/㎠ 그리고 막속에 남아있는 전하 Q_(left)=l4.8 mC/㎠였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험

3. 실험결과 및 논의

4. 결론

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