Preparation of ZrO₂ layer on Si(111)

정현숙; 김창민

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정현숙 김창민

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제27회 학술발표회초록집

발행연도: 2004.8

수록면: 195 - 195 (1page)

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-018020084

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AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
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	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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