지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
요약
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
참고문헌
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
Characteristics of Linear Microwave Plasma Using the Fluid Simulation and Langmuir Probe Diagnostics
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
The invariant design of planar magnetron sputtering in TFT - LCD
Journal of Korean Vacuum Science & Technology
1999 .10
3D Plasma simulation을 이용한 Cylindrical Rotating Magnetron Sputtering Cathode 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
RF Pulse를 이용한 ICP - Magnetron Sputtering Plasma의 Ionization 효율 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
Advanced Microwave Plasma Technology for Liquid Treatment
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
Comparative simulation of microwave probes for plasma density measurement and its application
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Two-Dimensional DC Magnetron Sputtering Simulator for Cylindrical Rotating Target
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
Magnetron Sputter내 Plasma 분포 및 Target Erosion Profile 해석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
Kinetic Simulation of Magnetron Sputter
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
DC magnetron target angle 변화에 따른 원자 이동 메커니즘 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
RF magnetron sputtering과 O₂ plasma ashing 공정을 이용한 다공성 구조 박막 제작 및 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
The trend of technology development for high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) method
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
A Study on Development of Discharge Electrode Structure in Magnetron Sputtering System
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
Emission Test Bench to Develop Cathode for 40 KV, 7A Magnetron Injection Gun
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
Comparative Study on Microwave Probes for Plasma Density Measurement by FDTD Simulations
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
Morphological Structural and Electrical Properties of DC Magnetron Sputtered Mo Thin Films for Solar Cell Application
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
Electron Temperature and Ion Density measurements of an ECR Plasma with Magnetron Magnetic Field Configuration
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
Development of a microwave plasma source based on a resonance cavity
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Study on the broken ITO panel repair using DC magnetron
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Comparision of Measurement and Calculation for Thin Films Thickness Distribution Coated by Magnetron Sputter System
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
0