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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제6권 제3호
발행연도
1997.8
수록면
249 - 254 (6page)

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Fe가 첨가된 반절연성 InP(100)의 특성을 photoreflectance(PR) 측정으로 조사하였다. 관측한 PR 신호로부터 300 K에서 띠간격 에너지(E。)와 넓어지기 변수(broadening parameter: Γ)는 각각 1.336 eV 및 11.2 meV의 값을 얻었다. 측정온도를 300~80 K로 낮춤에 따라 PR 신호는 엑시톤과 2차원의 띠사이 전이가 중첩된 형태(300 K)에서 전형적인 엑시톤에 의한 전이형태(80 K)로 변함을 알았다. 또한 Varshni 계수 α=-0.94±0.07 meV/K, β=587±35.2K와 Bose-Einstein 계수 α_B-33.6±2.02 meV, θ=165±33 K의 값을 얻었다. 그리고 등온 및 등시 열처리를 수행한 후 측정 결과, 온도 300℃에서 10~20분 정도 열처리시켰을 대 InP 시료의 결정성이 가장 좋아짐을 정성적으로 알 수 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 방법

3. 실험 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

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