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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제29권 제2호
발행연도
2016.1
수록면
120 - 124 (5page)

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본 연구에서 플라스틱 기판 위에 a-IZO 투명 전극을 사용하여 투명 유연 a-IGZO 박막트랜지스터를 제작하고 밴딩 상태에 따른 전기적 특성도 확인하였다. a-IGZO 박막트랜지스터는 550 nm의 파장에서 82%의 높은 투과율을 보인다. 그리고, 박막트랜지스터는 1.8 x 108의 온/오프 전류비, 15.4 cm2/V·s의 전계 효과 이동도, 186 mV/dec의 subthreshold swing을 가진다. 본 연구에서 사용한 투명 전극은 기계적 신뢰성을 가지므로, 0.5%의 스트레인에 해당하는 18 mm 곡률반경의 밴딩 후에도 전기적 특성을 유지한다.

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