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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이성일 (충주대학교 안전공학과)
저널정보
한국안전학회 한국안전학회지 한국안전학회지 제19권 제1호
발행연도
2004.1
수록면
72 - 76 (5page)

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The $Sr_{0.7}Bi_{2.6}Ta_2O_9$(SBT)thin films are deposited on pt-coated electrode(Pt/$TiO_2/SiO_2/Si$) using a RF magnetron sputtering method. The electrical properties of SBT capacitors with annealing conditions were studied. In the XRD pattern, the SBT thin films in all annealing temperatures had (105) orientation. In the SEM images, Bi-layered perovskite phase was crystallized at $750^{\circ}C$, and grains largely grew in oxygen annealing atmosphere. The maximum renanent polarization and the coercive electric field with annealing conditions are 12.40C/$cm^2$ and 30kV/cm, respectively. The dielectric constant and leakage current density with Pt electrode is 340 and 2.13${\times}10^{-10}A/cm^2$, respectively.
#RF magnetron sputtering method #annealing temperatures #leakage current density #remanent polarization

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