실시간 제어기를 이용한 마이크로 열식 질량공기 유량센서의 열특성 측정

박병규; 이준식

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박병규 (서울대학교) 이준식

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제33권 제8호

발행연도: 2009.8

수록면: 573 - 579 (7page)

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A thermal mass air flow sensor, which consists of a micro-heater and thermal sensors on the silicon-nitride thin membrane structure, is micro-fabricated by MEMS processes. Three thermo-resistive sensors, one for the measurement of microheater temperature, the others for the measurement of membrane temperature upstream and downstream of the micro-heater respectively, are used. The micro-heater is operated under the constant temperature difference mode via a real time controller, based on inlet air temperature. Two design models for microfabricated flow sensor are compared with experimental results and confirmed their applicabilities and limitations. The thermal characteristics are measured to find the best flow indicator. It is found that two normalized temperature indicators can be adopted with some advantages in practice. The flow sensor with this control mode can be adopted for wide capability of high speed and sensitivity in the very low and medium velocity ranges.

#Thermal Air Flow Sensor(열식 공기유량센서) #Real-Time Controller(실시간 제어기) #Temperature Difference Control(온도차 제어) #Microfabrication(마이크로 제조)

참고문헌 (12)

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1. [학술지(정기간행물)] - Nguyen, N. T. / 1997 / Micromachined Flow Sensors - A review / Flow Meas. Instrum 8 (1) : 7 ~ 16

2. [학술지(정기간행물)] - Ashauer, M. / 1999 / Thermal Flow Sensor for Liquids and Gases Based on Combinations of Two Principles / Sensors and Actuators A73 : 7 ~ 13

3. [학술지(정기간행물)] - Buchner, R. / 2006 / A High-Temperature Thermopile Fabrication Process for Thermal Flow Sensors / Sensors and Actuators A130 : 262 ~ 266

4. [단행본] - Brunn, H. H. / 1995 / Hot-Wire Anemometry, Principles and Signal Analysis / Oxford University Press.

5. [학술지(정기간행물)] - 박병규 / 2008 / 고응답 열식 질량공기유량센서의 제작 및 열거동 특성 / 대한기계학회논문집 B 32 (7) : 542 ~ 548

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