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Tape casting ceramics technology has been adopted for the fabrication of solid state electrochemical CO2 sensors and the packaging substrates. The fabricated CO2 sensors exhibit a fast response and a good recovery with the almost theoretical sensitivity of 37 mV/ decade, corresponding to a sensor operating temperature of 373 oC. The two packaging methods, the wire bonding package and the surface-mounted on the ceramic package, were compared with respect to their power consumption and mass production feasibility. In terms of the ease of fabrication, the surface mount packaging technology is superior to the wire bonding technology but its power consumption is approximately twice that of the wired package
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C. O. Park / 2003 / Ceramic electrolytes and electrochemical sensors / Journal of Mate-rials Science 38:4639~4660
C. O. Park / 2003 / Chemical sensors for pollution monitoring and control / Journal of Materials Science 38:4237
G. S. Chung / 2010 / Fabrication of micro heaters on polycrystalline 3C-SiC suspended membranes for gas sensors and their characteristics / Microelectronic Engineering 87:2348~2352
한혁진 / 2015 / Carbon Dioxide Sensor Substrate for Surface-mounted Packaging / 센서학회지 24(3):159~164
C. O Park / 2002 / Selective gas detection with catalytic filter / Materials Chemistry and Physics 75:56~60
C. O. Park / 2003 / Chemical sensors for pollution monitoring and control / Journal of Materials Science 38:4237
G. S. Chung / 2010 / Fabrication of micro heaters on polycrystalline 3C-SiC suspended membranes for gas sensors and their characteristics / Microelectronic Engineering 87:2348~2352
한혁진 / 2015 / Carbon Dioxide Sensor Substrate for Surface-mounted Packaging / 센서학회지 24(3):159~164
C. O Park / 2002 / Selective gas detection with catalytic filter / Materials Chemistry and Physics 75:56~60
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