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논문 기본 정보

자료유형
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저자정보
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제16권 제4호
발행연도
2009.1
수록면
33 - 39 (7page)

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마스크리스 리소그래피(maskless lithography)에 응용하기 위한 마이크로렌즈 어레이(microlens array, MLA)가 석영의 습식 식각과 UV 접착제(UV adhesive)의 코팅을 바탕으로 개발되었다. 제작된 MLA의 초점거리는 ~45 μm 정도 였으며, 집광되는 광선의 초점은 ~1 μm로 측정되었다. MLA를 통과하며 초점을 맺은 빔(beam)의 크기 및 세기가 charge coupled device (CCD) 카메라와 빔 프로파일러(beam profiler)를 이용하여 각각 측정되었으며, 일정한 세기의 점들이 초 점면에서 고르게 관찰되었다. 초점거리는 코팅된 UV 접착제의 두께에 따라 변화하였으며, UV 접착제의 두께가 두꺼울 수록 짧아지는 경향을 보였다. 일반적인 마스크 얼라이너(mask aligner)를 이용한 MLA의 UV 포커싱(UV focusing)이 감 광막(photoresist, PR) 상에서 실시되었으며, MLA를 통과한 빛이 감광막 위에 일정하게 집광되었다. 마스크 얼라이너와 MLA 사이의 거리 변화에 따라 감광막에 구현된 패턴 사이즈가 조절 되었다. 고온에서 오랜 시간이 지난 후에도 소자의 특성은 전혀 변함이 없었다.
#Microlens array #MLA) #Quartz #UV adhesive #Isotropic wet etching #Maskless lithography

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참고문헌 (18)

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C. Lee / 2001 / A Novel Refractive Silicon Microlens Array using Bulk Micromachining Technology / Sensors and Actuators A 88 (1) : 87 ~ 90 google schola D. L. Macfarlane / 1994 / Microjet Fabrication of Microlens Arrays / IEEE Photon. Technol. Lett 6 (9) : 1112 ~ 1114 google schola E. Gu / 2004 / Reflection/Transmission Confocal Microscopy Characterization of Singlecrystal Diamond Microlens Arrays / Appl. Phys. Lett 84 : 2754 ~ 2756 google schola H. Urey / 2005 / Microlens-array-based Exit-pupil Expander for Full-color Displays / Appl. Opt 44 (23) : 4930 ~ 4936 google schola J. B. Orhan / 2006 / Fabrication and Characterization of Three-Dimensional Microlens Arrays in Sol-gel Glass / J. Microelectromech.. Syst 15 (5) : 1159 ~ 1164 google schola

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