Thermal Assisted UV-Ozone Treatment to Improve Reliability of Ag Nanoparticle Thin Films

이인화; 김택수

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이인화 김택수

저널정보: 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제21권 제1호

발행연도: 2014.1

수록면: 41 - 44 (4page)

이용수

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We employed UV-Ozone treatment method for the fabrication of dense and highly conductive nanoparticlethin films. We demonstrated the UV-Ozone treatment effect on the silver nanoparticle thin films as a function of timeand temperature. The capping layers of nanoparticles were decomposed after UV-Ozone treatment and dense nanoparticlethin films were obtained. Moreover, electrical and mechanical properties of the thin films after UV-Ozone treatment weremeasured by using resistance measurements under tension in an in-situ tensile tester. The initial resistance of nanoparticlethin films was decreased by 82.6% with optimized UV-Ozone treatment condition of 150 °C for 20 minutes.

#Ag nanoparticle #UV-Ozone treatment #thin film #tensile testing

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D. J. Lee / 2011 / Pulsed light sintering characteristics of inkjetprinted nanosilver films on a polymer substrate / Journal of Micromechanics and Microengineering 21 (12) :

D. J. Lipomi / 2011 / Stretchable organic solar cells / Advanced Materials 23 (15) : 1771 ~

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I. Reinhold / 2009 / Argon plasma sintering of inkjet printed silver tracks on polymer substrates / Journal of Materials Chemistry 19 (21) : 3384 ~

이 논문의 저자 정보

이인화

소속기관 한국마이크로전자및패키징학회

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 1 이용수 2

김택수

소속기관 한국과학기술원

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