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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.1
- 수록면
- 23 - 28 (6page)
이용수
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마이크로렌즈 어레이는 광학 시스템의 기본 부품으로, 사용 목적에 따라 초점거리가 다르게 제작되며, 대체로긴 초점거리의 렌즈들이 많이 제작되고 있다. 본 논문에서는 졸겔(sol-gel) 내부에 들어있는 형광으로 염색된 물질을 관찰하기 위하여 마이크로렌즈 어레이를 제작하였다. 일반적으로 형광 현미경에서 관찰되는 형광 빛은 그 강도가 약하지만마이크로렌즈를 이용할 경우 빛을 집중시켜 선명한 관찰이 가능하게 한다. 이를 실현시키기 위해 photoresist thermal reflow법을 사용하여 초점 거리가 짧은 마이크로렌즈를 제작하였으며, 렌즈의 형상 관련 오차를 측정하였다. 측정 오차에기반을 둔 포토마스크 보정 및 스핀 코팅 조건을 조정하여 적합한 마이크로렌즈의 직경과 형상을 구현하였다.
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참고문헌 (10)
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D. L. MacFarlane / 1994 / Microjet fabrication of microlens array / IEEE Photonics Technology Letter 6 (6) : 1112 ~
E. Roy / 2009 / Microlens array fabrication by enhanced thermal reflow process: Towards efficient collection of fluorescence light from microarrays / Microelectronic Enginee
F.B. McCormick / 1992 / Optical interconnections using microlens arrays / Optical and Quantum Electron 24 (4) : S465 ~
M. Wakaki / 1998 / Microlenses and microlens arrays formed on a glass plate by use of a CO2 laser / Applied Optics 37 (4) : 627 ~
R.H. Anderson / 1979 / Close-up imaging of documents and displays with lens arrays / Appl. Opt 18 (4) : 477 ~
E. Roy / 2009 / Microlens array fabrication by enhanced thermal reflow process: Towards efficient collection of fluorescence light from microarrays / Microelectronic Enginee
F.B. McCormick / 1992 / Optical interconnections using microlens arrays / Optical and Quantum Electron 24 (4) : S465 ~
M. Wakaki / 1998 / Microlenses and microlens arrays formed on a glass plate by use of a CO2 laser / Applied Optics 37 (4) : 627 ~
R.H. Anderson / 1979 / Close-up imaging of documents and displays with lens arrays / Appl. Opt 18 (4) : 477 ~
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