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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제16권 제3호
발행연도
2009.1
수록면
61 - 65 (5page)

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단결정 실리콘 웨이퍼 위에 그라인딩 공정을 사용하여 인위적으로 결정학적 결함을 만들고 선택적 습식 식 각 공정을 통하여 반사율을 저감시켜 태양전지에 적용할 수 있는 새로운 표면 조직을 형성하였다. 식각 용액의 농도와 식 각 시간에 따른 표면 형태의 변화를 분석하고 그에 따른 표면의 광학적 반사율의 변화를 측정하였다. 결정학적 결함 분 석과 표면 형태의 관찰은 각각 투과전자 현미경과 주사전자현미경을 이용하였고 광학적 특성은 spectrophotometer를 이 용하여 분석하였다. 상기 방법에 의한 최적화된 실리콘 표면의 반사율은 평균 1% 이하의 우수한 결과를 보였으며 짧은 공정시간 및 가격효율성 면에서 효과적인 제조 방법이라고 사료된다.
#Si solar cells #texturing #grinding #etching

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참고문헌 (7)

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G. Willeke / 1992 / A simple and effective light trapping technique for polycrystalline silicon solar cells / Solar Energy Materials and Solar Cells 26 : 345 ~ 356 google schola J. P. Hirth / 1982 / Theory of dislocations / Wiley google schola J. Zhao / 1998 / 19.8% efficient “honeycomb” textured multicrystalline and 24.4% monocrystalline silicon solar cells / Appl. Phys. Lett 73 : 1991 ~ 1993 google schola J.I. Gittleman / 1979 / Textured silicon: A selective absorber for solar thermal conversion / Appl. Phys. Lett 35 : 742 ~ 744 google schola M. Tao / 2007 / Surface texturing by solution deposition for omnidirectional antireflection / Appl. Phys. Lett 91 : 081118 ~ 081120 google schola

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