폐슬러지 Si 분말을 이용한 SiC 제조

김영철; 장영철; 최미령

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김영철 장영철 최미령

저널정보: 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제10권 제3호

발행연도: 2003.1

수록면: 8 - 71 (64page)

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