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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제13권 제3호
발행연도
2006.1
수록면
9 - 12 (4page)

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전기도금 방법으로 유리기판 위에 제작한 코일과 영구자석을 이용하여 초소형발전기를 제작하였다. 여러 크기의 코일 구조를 설계한 마스크를 제작하고, 이를 이용하여 MEMS 코일을 제작하였다. 그 중 두께가 7㎛ 선폭이 20㎛ 길이가 1.6m인 코일을 선택하여 실험하였다. 광학현미경과 SEM을 사용하여 제작된 코일의 구조를 분석하였다. 또한 모터의 회전운동을 진동운동과 유사한 선형운동으로 변환하는 진동발생시스템을 제작하였고, 자석과 코일을 진동발생장치에 설치하고 진동을 발생시키면 교류전압이 발생한다. 0.5㎐에서 8㎐까지 진동주파수를 변화시켜 특성을 측정하였다. 발생된 전압은 3㎐에서 106㎷가 발생하였고, 6㎐에서 198㎷가 발생하였다. 본 연구의 목적은 쓸모없이 버려지는 진동에너지를 유용한 전기에너지로 변환하는 초소형발전기 소자를 제작하는 것이다.
#MPG #Micro Power Generator) #RFID #Radio Frequency IDentification) #MEMS #coil #magnet

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/ 1984 / H. Koyama and K. Shirae 20 (5) : 1804 ~ 1806 google schola

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