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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김성훈 (신라대학교 에너지응용화학과)
저널정보
한국유화학회 한국유화학회지 한국응용과학기술학회지 제30권 제3호
발행연도
2013.1
수록면
423 - 430 (8page)

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Carbon coils could be synthesized using $C_2H_2/H_2$ as source gases and $SF_6$ as an incorporated additive gas under thermal chemical vapor deposition (CVD) system. Prior to the carbon coils deposition reaction, two kinds of samples having different combination of Ni catalyst and substrate were employed, namely, a commercially-made $Al_2O_3$ ceramic boat with Ni powders and a commercially-made $Al_2O_3$ substrate with Ni layer. By using a commercially-made $Al_2O_3$ ceramic boat, the synthesis of carbon coils could be enhanced as much as 10 times higher than that of $Al_2O_3$ substrate. Furthermore, the dominant formation of the microsized carbon coils could be obtained by using $Al_2O_3$ ceramic boat. The surface roughness of the supporting substrate of $Al_2O_3$ ceramic boat was understood to be associated with the large scale synthesis of carbon coils as well as the dominant formation of the larger-sized, namely the microsized carbon coils.

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