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논문 기본 정보

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저널정보
한국분말야금학회 한국분말야금학회지 한국분말야금학회지 제15권 제6호
발행연도
2008.1
수록면
496 - 502 (7page)

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Aluminum nitride (AlN) powders were prepared by the chemical vapor synthesis (CVS) process in the AlCl₃-NH₃-N₂ system. Aluminum chloride (AlCl₃) as the starting material was gasified in the heating chamber of 300℃. Aluminum chloride gas transported to the furnace in NH3-N2 atmosphere at the gas flow rate of 200-400 ml/min. For samples synthesized between 700 and 1200℃, the XRD peaks corresponding to AlN were comparatively sharp and also showed an improvement of crystallinity with increasing the reaction temperature. In additions, the average particle size of the AlN powders decreased from 250 to 40 nm, as the reaction temperature increased.
#AlN #Nitridation #Chemical vapor synthesis #AlCl₃-NH₃-N₂system

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G. A. Slack / 1973 / Journal of Phys / Chem. Solid 34 : 321 ~ google schola J. R. Park / 1993 / / Journal of Mater. Sci 28 : 57 ~ google schola K. G. Nickel / 1989 / / Journal of Am. Ceram. Soc 72 : 1804 ~ google schola Lokesh Chandra Pathak / 1999 / / Journal of Am. Ceram. Soc 82 : 257 ~ google schola M.-C. Wang / 2000 / / Journal of Cry Growth 216 : 69 ~ google schola

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