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논문 기본 정보

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저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제19권 제1호
발행연도
2009.1
수록면
33 - 38 (6page)

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AlN 소결에 있어서 Y2O3를 소결 조제로하여 1,700~1,900oC의 온도에서 상압소결하였을 때 Y2O3 첨가와 소결유지 시간이 소결 특성, 미세 구조 및 열전도도에 미치는 영향에 관하여 평가하였다. Y2O3의 첨가에 따라 AlN 시편은 치밀화가 증진되고 열전도도가 증가됨을 확인할 수 있었다. 이러한 결과는 AlN 분말 표면의 Al2O3와 Y2O3의 반응으로 형성된 이차상에 기인한 것으로, 첨가된 Y2O3는 Al2O3와의 반응으로 치밀화에 기여를 하여 고온에서 액상의 형성으로 급속히 치밀화를 증진시키며, AlN 결정격자 내부로 유입될 수 있는 산소의 양을 감소시킴으로써 AlN 시편의 열전도도를 증가시키는 것을 알 수 있었다. 또한 소결시간의 증가에 따라 열전도도는 급격히 증가하였는데 이는 결정립계의 이차상이 고온에서 휘발되어 그 양이 감소함에 기인하는 것으로 파악되었다. 1,900oC 5시간 소결한 시편의 열전도도는 약 141Wm−1K−1 값을 나타내었고 이는 1시간 소결한 시편과 비교하여 20 % 이상 증가된 값이었다.

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