플라즈마 원자층 증착법에서 플라즈마 바이어싱이 금속산화물 유전막의 전기적/열적 특성에 미치는 영향

김윤진 ,  김용준 ,  정명길 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2020 .12

ALD 공정에서의 플라즈마 응용

이우재 ,  윤혜원 ,  이동권 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

SiO₂ bottom-up trench fill of a high aspect ratio hole by plasma enhanced atomic layer deposition using a very high frequency plasmas and inhibitor surface treatment

안규환 ,  김호곤 ,  이용기 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06

플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaN_x 박막의 전기 전도도 조절

류성연 ,  최병준

한국재료학회지

2018 .01

유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구

전준혁 ,  윤성호 ,  이세준 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2020 .07

강화학습을 이용한 지능형 다개체 교통신호 제어기의 설계

김정우

대한전자공학회 학술대회

2018 .06

기능성 박막 코팅용 소형 원자층 증착 장비

정헌준 ,  박종선 ,  임진혁 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

유도 결합 플라즈마를 이용한 Plasma Enhanced PVD 공정의 수치 해석

주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

미래 병사 서비스를 위한 순차적 블루투스 다중 연결 구현

홍석민 ,  김영진

한국통신학회 학술대회논문집

2020 .08

In-Situ Detection Method of Abnormal Plasma Discharge in Plasma-Assisted Deposition Processes

Muhammad Zeeshan A ,  shad ,  홍상진

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2018 .04

High-quality SiN_x thin film growth at 300 ℃ using atomic layer deposition with hollow cathode plasma

Jae Chan Pa ,  k ,  Dae Hyun Kim 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06

배열 전력 증폭기 그룹별 바이어싱 제어를 이용한 빔포밍 송신기 효율 향상 기법

김현우 ,  구현철

한국전자파학회논문지

2023 .10

Functionalization of Nano particles using Fluidized-Bed Reactor Atomic Layer Deposition

Se-Hun Kwon

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

Functionalization of sulfonated groups on carbon catalyst via plasma process

Oi Lun Helena Li ,  Takahi ,  o Ishizaki

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

다양한 온도에서 Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition으로 증착한 MoO_x film의 특성

임태완 ,  장효식

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2019 .04

원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작

최윤성 ,  심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

Research Trend and Future Perspective of Plasma-Assisted Health Care Technology

Hae June Lee ,  Kiwon Song

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2015 .10

전기 유도 플라즈마 분광 기반의 우주 탐사용 소형 화학적 센싱 모듈 개발

박상훈 ,  양준호 ,  여재익

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2021 .11

원자수준 플라즈마 표면 개질

최용섭 ,  이강일 ,  장수욱 외 9명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

산소 플라즈마 처리를 통한 CNTs 표면 특성에 따른 Pt 증착

정헌준 ,  구준모 ,  심준형

한국자동차공학회 추계학술대회 및 전시회

2022 .11