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플라즈마 원자층 증착 기술의 최근 동향 및 이슈
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
Advanced Atomic Layer Deposition: Metal Oxide Thin Film Growth Using Electric Potential
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
플라즈마 강화 원자층 증착을 이용한 직접 메탄 연료 고체산화물용 가스 전극 표면 개질
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
Advanced atomic layer deposition of ultrathin metal films
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
플라즈마 원자층 증착법을 이용한 결정성 구배 TiO₂의 광학적/전기적 특성 제어
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
Graphene Oxide 막의 염 제거율 및 안정성 증대를 위한 원자층증착법(Atomic Layer Deposition) 적용 및 평가
대한환경공학회 학술발표논문집
2018 .11
Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .12
원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
소수성 코팅을 위한 원자층 증착 희토류 금속산화물
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
유량 변화에 따른 원자층 증착 장비 내부 유동특성 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
Effect of Deposition Temperature on Mechanical Properties of Freestanding ALD Al₂O₃ Thin Films
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
Advanced Atomic Layer Deposition: Metal Oxide Thin Film Growth Using the Discrete Feeding Method
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .11
원자층 증착 박막을 활용한 고성능 산화물 전해질 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
Formation of Anti-reflection structure grown by atomic layer deposition
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2017 .05
유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .07
The Properties of ZrO2 Film Deposition by ALD at Low Temperature
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .10
산소 플라즈마 처리를 통한 CNTs 표면 특성에 따른 Pt 증착
한국자동차공학회 추계학술대회 및 전시회
2022 .11
플라즈마 원자층 증착을 이용한 TiO₂ thin film 굴절율 최적화
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
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