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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이성호 (POSCO) 곽재섭 (Pukyong National University)
저널정보
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제12권 제2호
발행연도
2013.4
수록면
113 - 119 (7page)

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An EP(Electrolytic Polishing)-MAP(Magnetic Abrasive Polishing) hybrid process was applied to remove burr on the micro pattern. Micro pattern fabrication processes are combined with micro milling and EP-MAP hybrid process for deburring. Depending on the micro milling conditions which are applied, micro burrs are formed around the side and top of the pattern. The EP-MAP deburring is used to remove these burrs effectively. To optimize removal rate and form error in the EP-MAP hybrid process, a design of experiment was performed. The effect of deburring process and form error of micro pattern are evaluated via SEM images and the results of AFM.

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 이론적 배경
3. 실험의 구성
4. 실험결과 및 고찰
5. 결론
REFERENCES

참고문헌 (8)

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